항목

제작
사양

유효
내부 공간

직경
: 0.8m, 길이 0.8m

진공도

5x10-6 Torr

진공도
도달시간

장비
가동 후 120분
이내

온도범위

-70
~ +125˚C

온도
변화율

Max.
3˚C/min (-60˚C 이하 :
>1.5˚C)

온도
안정도

+/-
1˚C

온도
균일도

+/-
2˚C

온도
조절방식

Shroud
+ Base plate + Thermal Circulator

허용
하중

≤
100Kg

Base
Plate크기

540
mm x 850 mm

장비
전체 크기

3,292(W)
x 2,670mm(L) x 2,795mm(H) (Only Chamber)

(추가 구성 요소 배치는 Layout 참조)

Material

SUS304,
SS400, Copper

Roughness

<
Ra0.5㎛