한국신뢰성기술센터 Bake-out 챔버 구축 및 설치운영 안내입니다

< 장비사양 >

1. Temperature : 50~180℃ (주사용 온도: 70℃ / 80℃ / 120℃ / 150℃)

2. Vacuum Gauge : Digital (Display 10^-3~4 torr)

3. Size (W x D x H) mm : 300 x 300 x 300mm

4. Vacuum Pump : LS1200A, ULVAC,  최소 16,000L/min,  Dry-Type Pump

5. Pump 최종 도달 진공도: 7.5 X 10^-4 torr