장비사양

 

항목	요구 사항	제안 사양
유효 내부 공간	직경 : 1.2m, 길이 1.2m	직경 : 1.2m, 길이 1.2m
진공도	1x10-5 Torr	5x10-6 Torr
진공도 도달시간	-	장비 가동 후 120분 이내
온도범위	-70 ~ +125˚C	-70 ~ +125˚C
온도 변화율	Max. 3˚C/min	Max. 3˚C/min (-60˚C 이하 : >1.5˚C)
온도 안정도	-	+/- 1˚C
온도 균일도	-	+/- 2˚C
온도 조절방식	Shroud + Baseplate + Thermal Circulator	Shroud + Baseplate + Thermal Circulator
허용 하중	≤ 150Kg	≤ 150Kg
Base Plate크기	750mm x 750mm x 1,000mm 시험체가 수용 가능한 크기	800mm x 1,150mm
장비 전체 크기	6,000mm(W) x 5,000mm(D) x 3,300mm(H) 공간에 설치	1,812(W) x 2,966mm(L) x 2,697mm(H) (Only Chamber) (추가 구성 요소 배치는 Layout 참조)
Material	-	SUS304, SS400, Copper
Roughness	-	< Ra0.5㎛