항목 |
제작사양 |
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유효 내부 공간 | 직경 : 1.2m, 길이 1.2m |
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진공도 | 5x10-6 Torr |
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진공도 도달시간 |
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온도범위 | -70 ~ +125˚C |
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온도 변화율 | Max. 3˚C/min (-60˚C 이하 : >1.5˚C) |
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온도 안정도 |
+/- 1˚C |
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온도 균일도 | +/- 2˚C |
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온도 조절방식 | hroud + Baseplate + Thermal Circulator |
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허용 하중 | ≤ 150Kg |
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Base Plate크기 |
800mm x 1,150mm |
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장비 전체 크기 |
1,812(W) x 2,966mm(L) x 2,697mm(H) (Only Chamber) |
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Material |
SUS304, SS400, Copper |
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Roughness |
< Ra0.5㎛ |
