항목

제작 사양

유효 내부 공간

직경 : 1.2m, 길이 1.2m

진공도

5x10-6 Torr

진공도 도달시간

장비 가동 후 120분 이내

온도범위

-70 ~ +125˚C

온도 변화율

Max. 3˚C/min (-60˚C 이하 : >1.5˚C)

온도 안정도

+/- 1˚C

온도 균일도

+/- 2˚C

온도 조절방식

Shroud + Baseplate + Thermal Circulator

허용 하중

≤ 150Kg

Base Plate크기

800mm x 1,150mm

장비 전체 크기

1,812(W) x 2,966mm(L) x 2,697mm(H) (Only Chamber)
(추가 구성 요소 배치는 Layout 참조)

Material

SUS304, SS400, Copper

Roughness

< Ra0.5㎛